臭氧滅菌是一種完全滅菌、無殘留、廣譜的溶菌方法。它能殺死細菌繁殖體、孢子、病毒和真菌，并能破壞肉毒桿菌毒素。此外，臭氧對真菌有殺滅作用。臭氧穩定性差，是一種無污染的消毒劑。臭氧很快就會分解成氧或單個氧原子。氧原子可以自己與氧分子結合，不存在有毒殘留物。

        臭氧是一種氣體，能迅速擴散到整個滅菌空間，滅菌時無死角。傳統的消毒方法，無論是紫外線燈管直接消毒還是化學熏蒸消毒，都存在著不完整、死角大、工作量大、殘留污染或氣味大等缺點，可能損害人體健康。如果用紫外線消毒，在光線不能照射的地方沒有效果。它具有衰落、穿透力弱、使用壽命短等缺點。化學熏蒸也有一些缺點，如對細菌和病毒的抗性強，殺菌效果不明顯。

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